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GB50472-2013潔凈廠房設計規范

GB50472-2008-電子工業潔凈廠房設計規范

GB50515-2010導(防)靜電地面設計規范

■ 服務領域:精密電子、半導體、LED、測試與封裝、光導纖維、鋰電池等。

■ 重點注意事項:

1、人流

1-1、人員凈化:

 

 

1-2、潔凈室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室;

1-3、單人空氣吹淋室,應按最大班人數30人設一臺。潔凈室人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;

1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;

1-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室,宜設氣閘室。

2、物流

2-1、潔凈室內的設備和物料出入口,應獨立設置,并應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應的物凈設施。

2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。

3、靜壓差

3-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa;

3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa;

3-3、潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。 4、根據生產要求需設計相應防靜電設施。

5、電子工業潔凈室空氣潔凈度等級表

 

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)

 

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

1

10

2

--

--

--

--

2

100

24

10

4

--

--

3

1000

237

102

35

8

--

4

10000

2370

1020

352

83

--

5

100000

23700

10200

3520

832

29

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

7

--

--

--

352000

83200

29300

8

--

--

--

3520000

832000

29300

9

--

--

--

35200000

8320000

293000

 

注:按不同的測量方法,各等級水平的濃度數據的有效數字不應超過3位。

凈化工程

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